Platinum thin films are used in var

Platinum thin films are used in various microelectronic and
micro-sensor applications. The microstructural, chemical, and electrical
stability of these films under high-temperature conditions
are of major concern. In addition, stability is also a concern for
potential extended use in specialized microelectronic applications,
especially when the films are used as thin, two-dimensional interconnects
or electrodes connecting active components at elevated
temperatures. Typical applications of these high-temperature
films are aligned with electrodes/interconnects for chemical sensors,
micro-heaters and -hotplates within microelectromechanical
systems (MEMS) [1–6]. Recently, more advanced MEM systems
have been applied within extreme environments, which
includes high temperatures and harsh chemical reactants, such as
micro-chemical emission sensors, -structural monitoring sensors,
-thermocouples, and -fuel cell systems that are utilized at temperatures
>600–800 ◦C [7–13].
High melting point noble metals are most suited for extreme
environment applications. Platinum, with its relatively high melting
point (1773 ◦C) and excellent chemical inertness, has long
been utilized for MEMs devices capable of operating at elevated
temperatures. Pt and other noble metals have a great chemical
inertness; however, these metals show poor adhesion and high surface
tension toward oxide surfaces. Budhani et al. demonstrated an
interface modification between thermally grown aluminum oxide
(Al2O3) and thin Pt films via reactive sputtering with low levels
of oxygen in order to obtain a 20–30 nm PtxO1−x layer prior to
pure platinum metal deposition. Adhesion tests showed a higher
level of adhesion compared to the conventional Pt + Al2O3 couple.
The authors indicated that strong PtxO1−x to Al2O3 bonding and
interdiffusion at the interface were responsible for the enhanced
adhesion [14].

Results (Vietnamese) 1:

Phim bạch kim mỏng được sử dụng trong nhiều microelectronic vàCác ứng dụng cảm biến micro. Microstructural, hóa học, và điệnsự ổn định của các bộ phim trong điều kiện nhiệt độ caolà mối quan tâm lớn. Ngoài ra, sự ổn định cũng là một mối quan tâm nhấttiềm năng mở rộng sử dụng trong các ứng dụng chuyên ngành microelectronic,đặc biệt là khi những bộ phim được sử dụng làm mỏng, hai chiều liên kết nốihay que kết nối các thành phần hoạt động ở caonhiệt độ. Các ứng dụng tiêu biểu của nhiệt độ caobộ phim được liên kết với điện cực/liên kết nối cho cảm biến hóa học,Micro-nóng và - hotplates trong microelectromechanicalHệ thống (MEMS) [1-6]. Gần đây, nhiều hơn nữa nâng cao hệ thống MEMđã được áp dụng trong môi trường khắc nghiệt, màbao gồm nhiệt độ cao và chất phản ứng hóa học khắc nghiệt, chẳng hạn nhưbộ cảm biến khí thải hóa chất vi, - kết cấu giám sát cảm biến,-Cặp nhiệt điện, và - hệ thống tế bào nhiên liệu được sử dụng ở nhiệt độ> 600 – 800 ◦C [7-13].Điểm nóng chảy cao quý tộc kim loại là phù hợp nhất cho extremeCác ứng dụng môi trường. Bạch kim, với sự nóng chảy của nó tương đối caođiểm (1773 ◦C) và tuyệt vời hóa chất trơ, có dàiđược sử dụng cho các MEMs thiết bị có khả năng hoạt động caonhiệt độ. PT và các kim loại quý tộc khác có một chất hóa học tuyệt vờitrơ; Tuy nhiên, các kim loại Hiển thị nghèo bám dính và bề mặt caocăng thẳng về hướng ôxít bề mặt. Budhani et al. đã chứng minh mộtgiao diện thay đổi giữa phát triển nhiệt nhôm ôxít(Al2O3) và mỏng Pt phim thông qua phản ứng tạo với mức thấpoxy để có được một lớp nm PtxO1−x 20-30 trướclắng đọng kim bạch kim tinh khiết. Bài kiểm tra độ bám dính cho thấy một cao hơnmức độ bám dính so với thông thường Pt + Al2O3 cặp vợ chồng.Các tác giả chỉ ra rằng PtxO1−x mạnh mẽ để liên kết Al2O3 vàinterdiffusion tại giao diện đã được chịu trách nhiệm về việc tăng cườngđộ bám dính, [14].

Results (Vietnamese) 2:

Platinum màng mỏng được sử dụng trong các vi điện tử và
ứng dụng vi cảm biến. Các cấu vi, hóa chất, điện và
ổn định của những bộ phim này dưới điều kiện nhiệt độ cao
là mối quan tâm lớn. Ngoài ra, sự ổn định cũng là một mối quan tâm cho
sử dụng mở rộng tiềm năng trong các ứng dụng vi điện tử chuyên ngành,
đặc biệt là khi phim được sử dụng như mỏng, liên kết nối hai chiều
hoặc điện cực kết nối các thành phần hoạt động tại độ cao
nhiệt độ. Ứng dụng điển hình của những nhiệt độ cao
bộ phim được phù hợp với điện / liên kết nối cho cảm biến hóa học,
vi-đun và -hotplates trong vi điện tử
hệ thống (MEMS) [1-6]. Gần đây, các hệ thống MEM ​​tiên tiến hơn
đã được áp dụng trong môi trường khắc nghiệt, trong đó
bao gồm cả nhiệt độ cao và chất phản ứng hóa học khắc nghiệt, chẳng hạn như
cảm biến khí thải vi hóa học, cảm biến giám sát -structural,
-thermocouples, và các hệ thống tế bào -fuel được sử dụng ở nhiệt độ
> 600 -800 ◦C [7-13].
điểm nóng chảy cao kim loại quý tộc là thích hợp nhất cho cực
ứng dụng môi trường. Platinum, với của nó tương đối cao nóng chảy
điểm (1773 ◦C) và tính trơ hóa chất tuyệt vời, từ lâu đã
được sử dụng cho các thiết bị MEMs có khả năng hoạt động ở độ cao
nhiệt độ. Pt và kim loại quý khác có một hóa chất rất
trơ; Tuy nhiên, các kim loại này cho thấy độ bám dính kém và bề mặt cao
căng thẳng về phía bề mặt oxit. Budhani et al. chứng minh một
sửa đổi giao diện giữa oxit nhiệt lớn nhôm
(Al2O3) và phim Pt mỏng thông qua phương pháp phún xạ phản ứng với các mức thấp
của oxy để có được một 20-30 nm PtxO1-x lớp trước khi
tinh khiết đọng bạch kim. Kiểm tra độ bám dính cho thấy một cao hơn
mức độ bám dính so với các cặp vợ chồng Pt + Al2O3 thông thường.
Các tác giả chỉ ra rằng mạnh PtxO1-x để Al2O3 liên kết và
interdiffusion tại giao diện chịu trách nhiệm về tăng cường
độ bám dính [14].